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准分子激光首先被应用在工业上:美国IBM公司开始使用并且改进准分子激光技术，主要应用在计算机芯片的制造以及塑料物质上蚀刻准的图形。准分子激光是氟氢气体混合后经激发产生一种人眼看不见的超紫外线的光束，属冷激光，能精准消融人预计要除掉部分，而不损伤周围组织和其他组织，它的效果是久性的。准分子激分类及用途：含氟准分子激体。准分子激是多组份混合气体，其输出波长是稀有气体（或卤素）结合作用的结果。准分子是稀有气体（或卤化物）的分子的名称。通过含氟准分子激体能产生四种波长的光波（或谱线）。

准分子激光的诞生，以其高光子能量所称著，在对突破材料限制需求越来越迫切的时代，准分子激光器再次站在了工业激光解决方案的前沿。准分子激光气注意事项：应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。一般来说，准分子激光是波长很短的紫外光，它与生物组织发生的是光化学效应而不是热效应，因此，不会产生热损伤。

 作为当今有效、可靠的脉冲紫外激光技术的代表，准分子激光有效推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、中的技术革新。气体通常都是装在钢瓶容器之中但是均为高压充装气体，所以仍然要给予良好的保存条件，正常情况下，除了不能有其他物品对其进行撞击之外，应该将气体放在不会被阳光直接照射的地方。目前准分子激光已广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面，如：钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积，物理气相沉积，磁头与光学镜片和硅晶圆的清洁等方面,微机电系统相关的微制造技术．

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